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臭氧以氧原子的氧化作用破坏微生物膜的结构，以实现杀菌作用。臭氧对细菌的灭活反应总是进行的很迅速，与其它杀菌剂不同的是：臭氧能与细菌细胞壁脂类的双键反应, 穿入菌体内部，作用于蛋白和脂多糖，改变细胞的通透性，从而导致细菌死亡。臭氧还作用于细胞内的核物质，如核酸中的嘌呤和嘧啶破坏DNA。臭氧首先作用于细胞膜，使膜构成成份受损伤，而导致新陈代谢障碍，臭氧继续渗透穿透膜，而破坏膜内脂蛋白和脂多糖，改变细胞的通透性，导致细胞溶解、死亡。
紫外线杀菌消毒系统由雪莱特来开发的，雪莱特的紫外线杀菌消毒系统的原理，采用模块化设计，模块的大小和剂量随处理量和水质的不同而定制设计，将消毒模块置于消毒水渠内，连同岸上的其他部件及PLC控制单元构成消毒系统。
紫外线杀菌消毒系统一般由七个部分组成：①紫外灯模块；②接线箱；③镇流器控制柜；④PLC主控柜（人机界面箱）；⑤气动装置及空气压缩机；⑥起吊装置；⑦溢流堰及相关辅助配件等。
臭氧是一种强氧化剂，灭菌过程属生物化学氧化反应。臭氧灭菌有以下3种形式：
1.臭氧能氧化分解细菌内部葡萄糖所需的酶，使细菌灭活死亡。
2.直接与细菌、病毒作用，破坏它们的细胞器和DNA、RNA，使细菌的新陈代谢受到破坏，导致细菌死亡。
3.透过细胞膜组织，侵入细胞内，作用于外膜的脂蛋白和内部的脂多糖，使细菌发生通透性畸变而溶解死亡。
